全(quan)氟烷氧基(PFA)化(hua)合物(wu)具有優異(yi)的耐熱性(xing)和耐化(hua)學性(xing)。它(ta)們的機械性(xing)能(neng)類似于FEP(RTP 3500系列),即便是FEP具有更好的耐熱性(xing),可以在華(hua)氏(shi)500度(260攝氏(shi)度)內使用。
PFA的低(di)介電(dian)常數(shu)使其可用(yong)于半導體制造和許(xu)多電(dian)氣應用(yong)。 為了避免內部壓力,PFA需(xu)(xu)要在高溫(wen)(約371攝氏度(du))的高溫(wen)下進(jin)行加工(gong)處理(li),當(dang)然,還(huan)需(xu)(xu)要較慢的加工(gong)速率。
優點:優越的(de)耐(nai)化性;良好的(de)摩擦性能
局限性:相對較(jiao)高的(de)成本;需(xu)要較(jiao)高的(de)加工(gong)溫度;加工(gong)速(su)率(lv)較(jiao)慢